ダウンロードしたネットリストをSPICEを用いてインピーダンス、アドミッタンスを計算した例を挙げます。
【2電極型櫛歯の構造】
図:デバイスモデル
【パラメータ設定条件】
図:形状パラメータと抽出用パラメータ
図:抽出された機械構造パラメータ
【SPICEによる計算結果】
図:インピーダンス
図:アドミッタンス
【実測との比較結果】
図:アドミタンスピーク値の直流電流依存性
ピークアドミタンスの直流電圧依存性は再現できるが,周波数の直流電圧依存性は 実測に比べて小さい
図:アドミタンスピーク周波数の直流電流依存性
図:アドミッタンスの実測とシミュレーションの比較 |