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計算例

ダウンロードしたネットリストをSPICEを用いてインピーダンス、アドミッタンスを計算した例を挙げます。
【2電極型櫛歯の構造】

2電極型櫛歯
図:デバイスモデル

【パラメータ設定条件】


図:形状パラメータと抽出用パラメータ

図:抽出された機械構造パラメータ

【SPICEによる計算結果】


図:インピーダンス

図:アドミッタンス

【実測との比較結果】

図:アドミタンスピーク値の直流電流依存性
ピークアドミタンスの直流電圧依存性は再現できるが,周波数の直流電圧依存性は 実測に比べて小さい

図:アドミタンスピーク周波数の直流電流依存性

図:アドミッタンスの実測とシミュレーションの比較