MENU 使用方法 計算例 等価回路モデル一覧 構成要素モデル
| 等価回路モデル一覧 | ||||||
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| 櫛歯：２電極：ストレートタイプ 1軸駆動の櫛歯アクチュエータ |
櫛歯：２電極：ダブルホールド 1軸駆動の櫛歯アクチュエータ |
櫛歯：２電極：ストレートタイプ ２軸駆動の櫛歯アクチュエータ |
櫛歯：３電極：角速度センサ ２軸可動の櫛歯型センサ |
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櫛歯：３電極：ストレートタイプ |
櫛歯：３電極：ダブルホールド １軸駆動の櫛歯アクチュエータ |
振動子：３電極 シリコンナノ振動子 |
カンチレバー CNTカンチレバー |
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カンチレバー |
平行平板 圧力センサ |
平行平板 平行平板型デバイス |
梁構造 ピエゾ抵抗型加速度センサ |
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