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構成要素モデル

ここで、構成要素モデル(パラメータ抽出プログラム)のモデル説明をします。

   
 

 

1軸駆動の櫛歯アクチュエータ    
 

 

磁気駆動のカンチレバー    
 

 

ピエゾ抵抗型加速度センサ    
 

 

シリコンナノ振動子    
 

 

圧力センサー