MEMS等価回路モデル
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等価回路モデル一覧
構成要素モデル
構成要素モデル
ここで、構成要素モデル(パラメータ抽出プログラム)のモデル説明をします。
櫛歯型アクチュエータ
カンチレバー型アクチュエータ
ピエゾ抵抗型加速度センサー
振動子
平行平板型デバイス
櫛歯角速度センサーに関する注意事項