| 特許番号 | 権利者 | タイトル | タイトル和訳 | 発行日 |
| US6798954 | 3M Innovative Properties Company | Packaged optical micro-mechanical device | パッケージされた光学式微小機械デバイス | 2004/09/28 |
| US6396711 | Agere Systems Guardian Corp. | Interconnecting micromechanical devices | 微小機械デバイスの配線 | 2002/05/28 |
| US6759309 | Applied Materials, Inc. | Micromachined structures including glass vias with internal conductive layers anodically bonded to silicon-containing substrates | シリコンを含む基板に陽極接合された内部導電層を有するガラス・ビアホールを含むマイクロマシン構造 | 2004/07/06 |
| US6784020 | Asia Pacific Microsystems, Inc. | Package structure and method for making the same | パッケージ構造及びその製法 | 2004/08/31 |
| US6780672 | Lockheed Martin Corporation | Micro eletro-mechanical component and system architecture | 微小電子機械部品およびその構成 | 2004/08/24 |
| US6756310 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Method for constructing an isolate microelectromechanical system (MEMS) device using surface fabrication techniques | 表面マイクロマシーン技術を用いて分離したMEMSデバイスを作製する方法 | 2004/06/29 |