高集積・複合MEMS知識データベースの整備としての特許調査
公開年別一覧
2000〜2001年
2002年
2003年
2004年
2005年
2006年
2007年
2008年
分野別一覧
MEMS/ナノ機能の複合技術(A1)
MEMS/半導体の一体形成技術(A2)
MEMS/MEMSの高集積結合技術(A3)
US特許
特許協力条約PCTに基づく国際特許出願(WO公開)
米国・欧州・PCT特許資料集
MEMS/半導体の一体形成技術に関する米国・欧州・PCT特許資料集
掲載特許一覧表
米国特許
欧州特許
特許協力条約PCTに基づく国際特許出願(WO公開)
MEMS/MEMSの高集積結合技術(主にパッケージング関連技術)に関する米国・欧州・PCT特許資料集
掲載特許一覧表
米国特許
欧州特許
特許協力条約PCTに基づく国際特許出願(WO公開)