finemems:技術用語集

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略称: 英名: 和名:

略称 英名 和名
PDMS Polydimethylsiloxane ポリジメチルシロキサン
CNT Carbon nanotube カーボンナノチューブ
SWNT Single-walled carbon nanotube 単層カーボンナノチューブ
MWNT Multi-walled carbon nanotube 多層カーボンナノチューブ
SAM, SAMs Self-assembled monolayer(s) 自己組織化単分子膜
SPM Scanning probe microscope 走査型プローブ顕微鏡
AFM Atomic force microscope 原子間力顕微鏡
SEM Scanning electron microscope 走査型電子顕微鏡
TEM Transmission electron microscope 透過型電子顕微鏡
ICP Inductively coupled plasma 誘導結合プラズマ
RIE Reactive ion etching 反応性イオンエッチング
Electrowetting
エレクトロウェッティング
FDTD (method) Finite Difference Time Domain (Method) 時間領域差分(法),有限差分時間領域(法)
RCWA (method) Rigorous Coupled Wave Analysis (Method) 厳密結合波解析(法)
PEDOT Poly(3, 4-ethylenedioxythiophene)
SOI Silicon on insulator

運営
(財)マイクロマシンセンター