Microfabrication of saw-tooth refractive x-ray lenses in low-Z materials

出典: finemems

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目次

記事

 鋸歯X線屈折レンズをシリコン、エポキシとダイヤモンドで製作した。シリコンレンズは単結晶シリコンの異方性ウエットエッチングで作製した。エポキシレンズはシリコン型から成形した。ダイヤモンドレンズはシリコン型に化学蒸着し、その後シリコンを犠牲エッチングして複製した。シリコンとエポキシレンズはサブミクロン焦点線を生じ、シンクロトロン構成で試験の場合ゲインは40以下。X線エネルギーは14と30keVで焦点距離は0.33から0.61mの範囲であった。

文献

Journal of Micromechanics and Microengineeri(巻-号)13-5 (ページ)714-720 (発行年-月)2003-9

著者

C.Ribbing/Uppsala University,SWE B.Cederstrom/Royal Inst.of Technology,SWE M.Lundqvist/Royal Inst.of Technology,SWE

キーワード

microfabrication,saw-tooth, low-Z materials,silicon, epoxy,diamond, chemical vapour deposition,

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