Micro-ball lens array modeling and fabrication using thermal reflow in two polymer layers

出典: finemems

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目次

記事

 2ポリマー層内に熱リフローを用いてマイクロボールレンズを設計し製作するための数学モデルを述べる。2ポリマー層は上側がホトレジスト、下側がポリイミドで、これらをシリコン基板に成膜した。表面エネルギーを最小にする球状のボールレンズアレイは2ポリマー材間のガラス遷移温度の違いによりホトレジスト内に形成した。マイクロボールレンズ製作中の誤差はホトレジストパターンの厚みを予測するために用いる理論モデル間で8%で、種々サイズのアレイ製作が可能である。

文献

Journal of Micromechanics and Microengineeri(巻-号)14-2 (ページ)277-282 (発行年-月)2004-2

著者

H.Yang/National Chung Hsing Univ.,TWN C.-K.Chao/Na.Taiwan Univ.of S and T.,TWN C.-P.Lin/Na.Taiwan Univ.of S and T.,TWN S.-C.Shen/Industrial Tech.Re.Insti.,TWN

キーワード

mathematical model,micro-ball lens array, thermal reflow,polymer layer, planar substrate,photoresist, glass transition temperature,surface tension, surface tension,

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