Electro-thermally actuated microgrippers with integrated force-feedback

出典: finemems

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目次

記事

 マイクロ加工したグリッパーやピンセットはμmスケールやnmスケールの物体を操作するための有望な道具である。通常のμmスケールのグリッパーと同様に、物体を捕捉する力を検出する能力は、捕捉する物体の機械的特性を測定するのと同様に操作を制御するのに都合がよい。グリッパーのたわみを読むための圧電抵抗を持った電気と熱で動作するグリッパーを設計し、グリッパーのたわみの圧電抵抗測定を行った。デバイスの動作の測定値は予測値とほぼ一致した。

文献

Journal of Micromechanics and Microengineeri巻-号15-6 ページ1265-1270 発行年月2005-6

著者

K.Molhave, O.Hansen/Technical Univ. of Denmark, DNK

キーワード

gripper, tweezers, microscale object, nanoscale objrct, grabbed object, piezoresistive read-out, gripper deflection

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運営
(財)マイクロマシンセンター