A reduced-order model for electrically actuated clamped circular plates

出典: finemems

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目次

記事

 電気的に動かして固定した円板の解析的マクロモデルについて述べる。この円板を支配する方程式を確立したのち、筆者らは電場による平衡状態のために分布パラメータ方程式を解き、安定した偏向位置の線対称モードの固有周波数を決めた。最後にシリコンMEMSで行った実験から得たデータを用いてこのモデルの正当性を試みた。このモデルは幾何学的非線形硬度と残留応力を考慮した。その結果、このマクロモデルは一般的で効果的な設計ツールとして十分である。

文献

Journal of Micromechanics and Microengineeri(巻-号)15-4 (ページ)684-690 (発行年-月)2005-3

著者

G.W.Vogl/Virginia Polytech.IS Univ.,USA A.H.Nayfeh/Virginia Polytech.IS Univ.,USA

キーワード

reduced-order model,Galerkin approach, distributed-parameter equation,ordinary-differential equation, axisymmetric mode,MEMS, geometric nonlinear hardening,residual stress, pull-in instability,effective design tool

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