2軸熱対流ガスジャイロスコープの開発

出典: finemems

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記事

対流による熱の移動とシリコン熱線の熱抵抗効果を動作原理とする2軸熱対流ガスジャイロスコープを開発した。構造設計、ガス流のシミュレーション、および感度解析につて述べる。このデバイスのX軸とY軸に対して測定した感度はそれぞれ0.107mV/(deg・s)、0.102mV/(deg・s)で、これらの値はセンサ素子としてタングステンを用いた同構造のジャイロスコープと比べて感度が42倍高く、消費電力は1/4である。この特性は高いTCR(抵抗の温度係数)と軽くドープしたp型シリコンの高抵抗によるものである。このデバイスは構造が簡単で長寿命である。

文献

Journal of Micromechanics and Microengineering巻-号16-7ページ1301-1306発行年月2006-7 V.T.Dau , D.V.Dao , S.Sugiyama/Ritsumeikan Univ., JPN, T.Shiozawa , H.Kumagai/Tamagawa Seiki Co. Ltd, JPN

著者

キーワード

dual-axis gas gyroscope, convective heat transfer, thermoresistive effect, power consumption, doped silicon

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