静電流体加速器の小型化

出典: finemems

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記事

電気流体力学イオン風ポンプとして知られる静電流体加速器(EFA)は電子温度管理ソリューションの重要な要素となる可能性を持っている。EFAベースの温度管理の最大限の利点を得るために、EFA技術を最小化することが不可欠である。本論文は、メゾスケールの微細加工のシリコンEFAの作動の成功例を実証する。チップ曲面の半径が0.5〜25μmのバルクシリコンで作製した幾つかの片持ち梁構造をコロナ電極として用いた。素子はDRIEとRIE微細加工プロセスを組み合わせ作製した。本論文で、メゾスケールの微細加工EFAの作製と試験結果を提案した。

文献

Journal of Microelectromechanical Systems巻-号16-4ページ809-815発行年月2007-8 C.- P.Hsu , N.E.Jewell -Larsen, A.V.Mamishev /University of Washington, USA, I.A.Krichtafovitch / Kronos Advanced Technologies Inc., USA, S.W.Montgomery , J.T.Dibene ,�U/Intel Corporation, USA

著者

キーワード

electrohydrodynamic (EHD), electrostatic fluid accelerator(EFA)

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