集積化が容易な電気制御マイクロバルブ

出典: finemems

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目次

記事

電熱的に動作する常時開のマイクロバルブの製作と操作について述べる。このバルブはガスが透過できるエラストマ膜を2枚のエッチングしたガラス板の間に置いて製作した。ガラス板の第一層上に形成したリザーバとチャンネルは低融点ポリマ(PEG)で満たした。このPEGは集積した白金抵抗体で加熱すると融けて相変化し(30%までの)体積が変化する。この変化がエラストマ膜を動かしチャンネルを封止し、チャンネルやリザーバの先端の空気はエラストマ膜を通して拡散しPEGで満たされる。このバルブの信頼できる封止圧力は10psiで、ラブチップ技術で集積化できる。

文献

Journal of Micromechanics and Microengineering巻-号18-4ページ045009(1-9)発行年月2008-4 W.H.Song , J.Kwan , G.V.Kaigala , V.N.Hoang , C.J.Backhouse/Univ.of Alberta, CAN

著者

キーワード

microvalves , gas-permeable elastomeric membrane, glass plates, reservoirs, channels, polymer (polyethylene glycol), volumetric change, phase transition, platinum-resistive elements, lab-on-a-chip (LOC) fabrication, polymerase chain reaction, LOC technology

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