表面弾性波による流路を流れるビーズのパターニング
出典: finemems
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流路中に分散されて流れるビーズを、流路に垂直に表面弾性波を与えて、整列させる技術。
構造
Y＋128°LiNbO3基板にSAW(2つの櫛歯電極(IDT電極))を作製（①）。PDMS流路を、Si基板に形成された流路パターンにPDMSを導入し、転写プロセスで作製（②）。①のLiNbO3基板に②のPDMS流路を、流路の向きがSAWの伝播方向(1つのIDT電極からもう1つのIDT電極に向かう方向)に直交するように接合（③）して作製。流路にはポリエチレン製のチューブを接続し、シリンジポンプで蛍光ビーズ分散液を導入。
特性・性能・評価
シミュレーションと蛍光観察実験で、SAWを動作させたときにビーズが整列することを確認した。
文献情報，参考文献
J.Shi,D.Ahmed,X.Mao and T.J.Huang,"SURFACE ACOUSTIC WAVE (SAW) INDUCED PATTERNING OF MICRO BEADS IN MICROFLUIDIC CHANNELS",Tech.Digest of MEMS 2008,26-29.より引用。
