表面張力を用いたマイクロインジェクタ
出典: finemems
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インジェクション用のガラス管に電極などを備えることにより、表面張力をコントロールして液滴を駆動する方法。生物学の分野におけるインジェクション用のチューブとして、ガラス管が用いられている。従来のインジェクションの方法は、圧力を駆動力としたものが多いが、マイクロ領域では圧力損失が多いため、それに代わる方法として接触角変化を用いた液滴駆動力を提案している。
対象材料
主要材料として用いているのは、一般的に生物学の分野などで用いられているガラス管である。これに加えて、透明電極としてITO、疎水性膜としてTeflonを使用する。
装置
ITO用スパッタリング装置。
条件
ヒートプルしたガラス管を用意して、その先端部分の外側にだけフォトレジストをディップによりコートする。その後、ITOをガラス管の外側にスパッタリングするが、先端部分のITOはフォトレジストによってリフトオフを行い除去しておく。次に、今度はフォトレジストをガラス管の内側にディップコートし、その状態でガラス管の内部をテフロンによってコーティングする。その後、再びフォトレジストでリフトオフを行うことにより、ガラス管内部の先端部分のみがテフロンでコートされていないような構造がえられる。
禁則事項
留意事項
文献情報，参考文献
- Kazunori Hoshino, Soroj Triteyaprasart, Kiyoshi Matsumoto, Isao Shimoyama, “Electrowetting-Based Pico-Liter Liquid Actuation in a Glass-Tube Microinjector,” Sensors and Actuators A, vol. 114, pp. 473-477, 2004.
コメント
駆動可能な液体量などのパラメータや、製作プロセスについては、参考文献をご参照ください．
