表面処理：酸素大気圧プラズマによる表面洗浄
出典: finemems
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大気中で行われるプラズマを用いた電極等の洗浄法としては、酸素大気圧プラズマの照射が挙げられる。酸素大気圧プラズマによる表面処理は、酸素を不活性ガスで希釈した混合ガスに高周波電圧を印可することにより、酸素ラジカルと不活性ガスの混合気体としたものを試料表面に噴射することにより、表面洗浄・表面改質を行うものである。本論文では不活性ガスにヘリウムとアルゴンを用いた酸素大気圧プラズマによって、ITO、銀、ポリカーボネートの表面の特性がどのように変化するかを、接触角の測定とそこから算出した表面エネルギを用いて評価した。結果として、いずれの試料についても、処理後の試料では接触角が大幅に小さくなり、表面エネルギは大幅に増大するという結果になった。
対象材料
装置
条件
禁則事項
留意事項
文献情報，参考文献
C.H. Yi, Y.H. Lee, G.Y. Yeom, "The study of atmospheric pressure plasma for surface cleaning", Surface and Coatings Technology 171 (2003) 237–240
