熱気圧駆動を用いたTip-Tilt-Pistonミラー

出典: finemems

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目次

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Tip-Tilt-Pistonミラー(TTPM)はアクチュエータのTipによって、ミラーの上下(piston)とTiltの運動を行う。

構造

TTPMの構造と動作原理をFig.1に示す。TTPMはミラーチップ・駆動チップとガラスチップ(基板)の3つのチップから構成される。

駆動チップのキャビティ内にある空気がヒーターによって熱せられると、暖められた空気がチャネルを通ってバルーンキャビティに流入してPDMS製のバルーンが膨れ上がる。 ミラーチップは駆動チップの上に乗ってあり、バルーンの膨らみ具合に応じてミラーの位置とチルト角が変化する。



バルーンは三角形の形に3つ配置してあり、ミラーの直径は5mmである。(Fig.2)



ガラス基板に設置するPt製ヒータと温度センサの構造をFig.3に示す。



作製したセンサの外観をFig.4に示す。ミラーチップと駆動チップは耐熱エポキシで接合されている。



特性・性能・評価

ヒータ電圧とチルト角・上下移動との関係をそれぞれFig.5,Fig.6に示す。




文献情報,参考文献

Armin Werber and Hans Zappe, "A THERMO-PNEUMATICALLY ACTUATED TIP-TILT-PISTON MIRROR", Transducers 2007, Lyon, France, pp. 1525-1528

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