無線のマイクロ電気機械システムに電力を供給するための特殊な表面

出典: finemems

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目次

記事

無線のMEMSに電力を供給して動作させる電力床の表面について述べる。その表面は導電帯と絶縁帯を交互に配置したもので、PZTを基盤とした3足移動システムのロボットをこの上に乗せ、導電性の帯と足が接する時に電力を取り入れてロボットが作業するナノファクトリーに用いる。本論文では耐酸化性の440Cステンレスと綺麗な仕上がりと平面性が得られる黒御影石を用いて、絶縁帯の最小幅、導電帯間のアーク放電や短絡防止方法を空気中とHeガス中で評価した。

文献

Journal of Micromechanics and Microengineering巻-号15-10ページS251-S258発行年月2005-10 S.Martel/EPM, Campus of the Univ.of Montréal, CAN

著者

キーワード

wireless micro-electro-mechanical system, electrically conducting band, insulating band, wireless system, contact surface, powering surface, positioning system, PowerFloor

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