無冷却IR画像用の高感度焦平面アレイの設計と製作

出典: finemems

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目次

記事

無冷却赤外(IR)画像に用いるカンチレバーからなる焦平面アレイ(FPA)の開発について報告する。160×120ピクセルのFPAは厚みが1μmのSiNx構造層、薄い金反射層および厚い金バイメタル層からなる。このカンチレバーピクセルの熱機械的感度は0.11μm/K、FPAのノイズ等価温度差は理論的に推定し60mK以下、レスポンスタイムの計算値は15msであった。光読み出しシステムを用いてFPAの全カンチレバーのたわみを同時に測定した。蜂の巣状FPAの利点の1つはシリコン基板の選択除去で、従来の表面犠牲層プロセスで形成した場合と比べて48%までIRの吸収効率が増加した。

文献

Journal of Micromechanics and Microengineering巻-号18-5ページ057001(1-8)発行年月2008-5 X.Yu , Y.Yi , S.Ma /Peking Univ., CHN, M.Liu , X.Liu , L.Dong , Y.Zhao /Beijing Institute of Technology, CHN

著者

キーワード

focal plane array, uncooled infrared (IR) imaging, SiNx structure layer, gold reflection layer, gold bimaterial layer, deep reactive ion etching, thermomechanical sensitivity, cantilever pixel

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