液体の表面張力を利用した位置合わせ技術７
出典: finemems
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東工大のグループは、水の表面張力を用いた１ｍｍ以下のマイクロ部品の位置合わせ技術を報告している。左の図のように1mm角のガラス製のマイクロ部品とそれを搭載する基板上に親水性領域と疎水性領域を形成する。親水性部(0.8mm角)の材料はガラスであり接触角は45度、疎水性部(親水性部の周囲)の材料はwater repellent (撥水剤)を塗布して形成しており接触角は110度であった。アライメント精度と液量の関係を右図に示す。この実験では、マイクロ部品２の中心よりX軸方向に100μm、Z軸方向に500μm離した場所よりマイクロ部品１を落下させ、液量を12, 23, 35, 46, 69, 92nLと変えた場合のXY方向に対するアライメント精度をプロットしたものである。また、θ軸方向へのズレも測定している。液量23nLのときにアライメント精度数μｍ程度の値が得られているものの、液量が僅かに変化したことにより、アライメント精度は10μm以上低下し、条件によっては80μm以上ずれることも観測された。
対象材料
装置
条件
禁則事項
留意事項
文献情報，参考文献
Kaiji Sato, Kentaro Ito, Seiichi Hata, Akira Shimokohbe, “Self-alignment of microparts using liquid surface tension—behavior of micropart and alignment characteristics “, Precision Engineering, 27 (2003) 42–50
