弾性表面波素子を用いた匂い提示装置の開発
出典: finemems
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以下に示すSAW(表面弾性波：Surface Acoustic Wave)ストリーミングの原理を用いて、匂い要素の液体状態での保持、任意で吐出、霧化の機能を備えたデバイスを作製した。
Substrateにはピエゾ素子を用いて、電極に電圧を印加することでSAWを発生させる。 またその状態を式で表すと、
θR：伝播角度 VL：液中縦波伝播速度 VR：SAW伝播速度 である。
構造
作製したデバイスの構造を以下に示す。
まず液体ポンプ用SAW素子を示す。
この素子は、交差幅0.5mm、電極対数20対、反射器本数100本、中心周波数100MHzである。 IDTで発生するSAWストリーミングをReflectorで反射し、SAWストリーミングの方向を限定する。 入力信号振幅は5Vp-p、電力は0.06Wである。 IDTから発生したSAWにより、2-butanoneの搬送される様子を示す。
次に霧化器用SAW素子を示す。 この素子は、交差幅4.8mm、電極対数20対、反射器本数100本、中心周波数32MHzである。
櫛型電極間にエネルギーが集中し、液体を霧化させる。 電力は0.3W、電極はCr/Au、入力電圧は10～12Vp-pである。 霧化の様子を以下に示す。
今後
SAWストリーミングを利用した揮発性有機溶媒の流動と霧化現象の観察を行ったので、今後はSAW液体ポンプとSAW霧化器を組み合わせたデバイスを作製し、液体状態での匂い資料を供給・混合、瞬間的に霧化できる装置の実現へ。
文献情報，参考文献
[1]T.Monji, A.Saitoh and T.Nomura, "Development of Odor supplying Device Using Surface Acoustic Wave Device," PROCEEDINGS OF THE 25TH SENSOR SYMPOSIUM,2008.pp.167～170
