分割した櫛歯電極型静電駆動アクチュエータ

出典: finemems

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目次

記事

櫛歯電極を分割した静電駆動型アクチュエータを製作した。配置できる櫛歯数が少なくなるため駆動電圧が高くなるものの、内側への電極配置が最大変位を大きくするには有利であること、side snap-overと共に生じる移動体の回転を打ち消す方向にモーメントを発生する櫛歯電極の駆動方法が最大変位を伸ばす効果があることを確認した。この効果は比較的弱いものであった。本デバイスはX軸片側方向で最大50μmの変位を得た。

文献

電気学会論文誌Eセンサ・マイクロマシン準部門誌 巻-号126-4ページ168-169発行年月2006-4、佐々木実、坊野史典、羽根一博/東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

著者

キーワード

櫛歯電極型静電駆動アクチュエータ、不安定動作

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