ラジフロリーク試験

出典: finemems

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 ラジフロリーク試験とは、キャビティーなどの微小空間に放射性同位元素であるクリプトン85(Kr-85)を含有するガスを圧入し、キャビティー内部に侵入したKr-85の放射線を測定して、キャビティー部の気密性を評価するものである。図1に、ラジフロリーク試験の試験方法を示す。はじめに、加圧チャンバ内にサンプルを入れて密封した後、真空排気する。次いで、Kr-85とN2の混合ガスを圧入し、一定時間サンプルを加圧する。印加圧力と加圧時間は、測定するサンプルのキャビティー部の大きさ、気密性により決まる。この際、キャビティー部と外界との間にリークパスが存在すると、そこからキャビティー内部にKr-85が侵入する。一定時間経過後、放射性ガスを回収し、チャンバ内を空気で洗浄した後、サンプルをチャンバから取り出す。シンチレーションカウンターにより、キャビティー内に侵入したKr-85からの放射線を測定し、リークレートを算出する。リークレートQは次式により求めることができる。

Q =R/{SKT(Pe2-Pi2)   ・・・・・(1)

 ここで、定数Rはシンチレーションカウンターの測定値からバックグラウンドの値を引いた数、Sは比放射能、Kはシンチレーションカウンターの計数効率、Tは加圧時間、Peは加圧圧力、Piはキャビティー内部圧力である。測定にはKr-85から放射されるベータ(β)線、またはガンマ(γ)線が用いられる。β線はγ線に比べて放射線量は多いものの透過力が小さいため、測定できるサンプルの大きさに制限がある。ラジフロリーク試験では、10-11Pa・m3/sec~10-15Pa・m3/sec程度の微小なリークレートを測定することができる。ICなど電子部品のパッケージ、真空スイッチなどの真空部品、航空・宇宙分野製品の気密性の評価など幅広く利用されている。

モデル構造・メッシュ

境界条件

物性条件

結果・評価・実験との比較

マシン環境

文献情報,参考文献

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