ミニチュアロボット;数マイクロメートル単位で移動制御,愛工大,1万分の1度単位で回転

出典: finemems

←この記事が参考になった方はボタンを押して投票して下さい。

目次

記事

文献

日刊工業新聞   2004.09.28

著者

キーワード

半導体製造工程に期待,植田明照教授、鳥井昭宏助教授ら, 卓袱台のような形,ロボットの上にモノ, 幅広い用途,直径30ミリ弱の円盤状の金属台下に3本脚, 脚同士を結ぶように圧電素子,3圧電素子がそれぞれ、正三角形の一辺構成, 圧電素子の大きさは長さ10X高さ3X幅2ミリ,電圧のかけ方を任意に変え、細かな移動

←この記事が参考になった方はボタンを押して投票して下さい。


運営
(財)マイクロマシンセンター