トップページ

出典: finemems

2016年8月25日 (木) 09:31; WikiSysop (ノート | 投稿記録) による版
(差分) ←前の版 | 最新版を表示 | 次の版→ (差分)
あなたは、本データベース0020139人目の訪問者です。


ファインMEMS知識データベース(DB)へようこそ

ファインMEMS知識DBは、登録すれば自由に閲覧・編集できる、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems:微小電気機械システム)に関するオンライン知識DBシステムであり、……(全文)

お知らせ

本文の図をご覧になりたい方は、提出戴いたIDとパスワードでログインしてください。
現在、試行期間(5月連休開けまでの予定)とし、不具合等ございましたら事務局へご連絡ください。
なお、一般公開はいたしておりませんので、Googleのサイト内検索は使えません。

ランキング

ファインMEMSカテゴリによる分類

特許

今日の知識

(日変わりで登録知識の中からランダムに表示しています。)

  • 多層集積におけるレイヤー間欠陥伝播
    多層のシリコンウエハをボンディングするときに、一枚ずつボンディング(アニール含む)していった場合、あるボンディングプロセスで生じた欠陥が、ウエハの反対側に突出し、次のウエハプロセスを妨げる。 すなわ ………
  • 超小型高速MEMSスイッチ
     MEMSスイッチのブリッジ部サイズは、8μm幅×21μm長であり、これまで報告されているMEMSスイッチに比べ、1/150~1/300のサイズである。コプレーナ線路にN×M個が装荷されたキャパシテ ………
  • プラズマ表面活性化を利用したウェハ低温接合技術
    プラズマ表面活性化接合と陽極接合を併用するハイブリッドボンディングで、 従来の陽極接合と比較すると、接合温度が160℃と低温でかつボイドレスの接合ができる。 Si(100)とガラスウェハ(Py# ………

新着知識

新規知識入力

新規に知識を入力する場合には、以下の入力フォームを利用して登録してください。

ファインMemsカテゴリ

知識タイトル


テンプレート



運営
(財)マイクロマシンセンター