ガラス陽極結合に金属を用いた堅固な流体相互接続の組立

出典: finemems

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記事

本論文はガラス陽極結合に金属を用いた圧電抵抗Si/パイレックス液体流量センサのカプセル化を報告する。Si/パイレックス/金属の三重積み重ねの結合パラメーターは残留応力を最小にし、堅固な液体密閉接合の界面を手に入れるために選択された。Si/パイレックス液体流量センサの金属板KovarとAlloy42への接着に成功した、その上にチューブを取り付け、プリント板(PCB)を組み立てた。液体流体センサのオフセット(TCO)、抵抗(TCR)と感度(TCS)の温度係数の特性を示した。金属とガラスの陽極接合を用いたカプセル型センサは仕様を満足させた。

文献

Journal of Micromechanics and Microengineering 巻-号15-9 ページ1657-1663発行年月2005-9 D.Briand, P.Weber, N.F d.Rooij/University of Nieuchâtel,CHE

著者

キーワード

robust fluidic interconnects, metal to glass anodic bonding, temperature coefficients of offset(TCO), temperature coefficients of resistance(TCR), temperature coefficients of sensitivity(TCS)

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