インライン自動平面応力特性化のためのMEMS容量性試験構造

出典: finemems

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目次

記事

表面微細加工プロセスにおける構造層の平面応力特性化を目指すMEMS試験構造を紹介する。古典的な回転ニードル設計を導入し、これを回転角の電気容量の変換により拡張子した。主たる目標は、現場用の、高速のインライン自動試験を可能にする電気的計測に適したデバイスである。応力の抽出は量子化容量の変換を介して行われる、それはアナログ変換を一般的に弱める改善された堅牢性対容量寄生効果につながる。金電気メッキ構造層を用いて加工したプロトタイプ上での電気的計測と光学検査との比較を通じて本手法を実証した。

文献

Journal of Micromechanics and Microengineering巻-号 18-7 ページ 075006(1-6) 発行年月 2008-7 M Bellei , R Gaddi , A Gnudi /ARCESS-DEIS University of Bologna, ITA

著者

キーワード

MEMS ( microelectromechanical system) test structure, in situ & in-line automatic testing, planar stress characterization, robustness versus capacitive parastic effects, test structure design

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(財)マイクロマシンセンター