アルミニウムおよび銅薄膜の表面自然酸化膜破壊に必要な荷重
出典: finemems
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これまでアルミニウムの表面自然酸化膜を機械的に破壊するためには約0.1 Nの荷重が必要と報告されてきたが，本論文ではさらに精密な計測を行い，アルミニウムおよび銅の表面自然酸化膜の破壊に必要な荷重をそれぞれ0〜3 μNおよび0〜0.5 μNと求めている．また，本論文では金属膜の厚さの違いによる接触抵抗の挙動の変化についても調査している．図1にアルミニウム薄膜での実験結果を，図2に銅薄膜での実験結果を示す．なお，これら実験はスパッタリングによって堆積したアルミニウム薄膜，および銅薄膜に対して行われている．図1より，アルミニウム薄膜においては薄い(0.08 μm)場合の接触抵抗はおよそ9.5 Ωであるが，厚い(1 μm)場合の接触抵抗は約65%減少しおよそ3.3 Ωとなっている．また図2より，銅薄膜においては薄い(0.08 μm)場合の接触抵抗はおよそ12 Ωであるが，厚い(1 μm)場合の接触抵抗は約75%減少しおよそ3 Ωとなっている．
製法
測定手法（装置、試験片）と結果
文献情報，参考文献
Q. Liu, D. T. McCormick, R. C. Roberts and N. C. Tien, “Nanoscale Al-Al and Cu-Cu contact”, Proc. 14th Int. Conf. Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems − Transducers ‘07, Lyon, France, pp.1593-1596 (2007)
