RF多重スイッチ集積

出典: finemems

←この記事が参考になった方はボタンを押して投票して下さい。

目次

項目の説明 【必須】

ネットワーク切替用の静電型のMEMSスイッチの集積化。スイッチがS形状の薄膜型橋梁による構成になっており1個あたり20V程度と比較的低電圧で動作できている。実際に5X5および20×20に集積化したスイッチアレイを試作し、動作を確かめている

構造

静電型

特性・性能・評価

動作電圧20V


文献情報,参考文献

S. Braun et. al., MEMS Single-Chip 5x5 and 20x20 Double-Switch Arrays for Telecommunication Networks, MEMS'07, Kobe, 2005.

コメント

←この記事が参考になった方はボタンを押して投票して下さい。


運営
(財)マイクロマシンセンター