微小塩素ガスセンサー

出典: finemems

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目次

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MEMS構造を使って作った塩素ガスセンサーの開発事例。 塩素ガスは高圧ガス保安法や労働安全衛生法などで漏洩ガスの検知警報計の設置が決められている。小型・安価なセンサーをめざし シリコンMEMS構造で作成した。


構造

図1のような構造で作成している。

気液分離膜はdeepRIEにより直径30ミクロンの穴を多数開け、この表面をシラン化処理による撥水処理して利用。 センサーボディとしてはガラス製、ダイシングによる深溝構造としている。 電極、ECRスパッタによるTi/Pt薄膜 内部液MBr溶液、印加電圧DC250~300mV)

特性・性能・評価

図2に0~0.5ppmの低濃度域での検量線を示す。応答速度は50%応答が10秒以内と高速。50%復帰時間も10秒程度と有効

また表1に市販の塩素ガスセンサーとの比較を示す。


文献情報,参考文献

[1] 八谷他 「微小塩素ガスセンサーの開発」分析化学 49 (2000) 12 pp.981-987

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運営
(財)マイクロマシンセンター