ファインMEMS知識データベース(DB)へようこそ

出典: finemems

ファインMEMS知識DBは、登録すれば自由に閲覧・編集できる、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems:微小電気機械システム)に関するオンライン知識DBシステムであり、独立行政法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構の支援による「高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト」(事業期間:平成18年度~平成20年度)の一環として整備されたものです。 「高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト」の目的は、今後成長が期待される市場である自動車、情報通信、安全・安心、環境、医療等の多様な分野における電子機器・電子部品の小型化・高性能化に大きく寄与できる高集積・複合MEMSデバイスの製造技術開発です。研究テーマは、図1に示すように、①ナノ機能との複合技術の開発、②半導体との一体形成技術の開発および③MEMS-MEMS間の高集積結合技術の開発です。これらの重要な技術課題に選択的・集中的に取り組むことにより、新たなステージとしての小型・省電力・高機能・高信頼性の実現を目指しています。この新たなステージでのMEMSを愛称としてファインMEMSと名付けました。 ファインMEMS知識DBは、プロジェクトの研究開発を通じて得られた成果・知識情報、国際会議情報、および公開特許・欧米特許分析データを体系的にデータベース化し、ファインMEMS開発・製造を目指す研究者・技術者が容易に活用できる環境を提供し、さらに「ウィキ」システムを用いて持続的な知識データの更新を図る枠組みを提供するものです。

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運営
(財)マイクロマシンセンター