P(VDF/TrFE)薄膜を用いた柔軟な心拍・呼吸センサ

出典: BeansCM

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目次

項目の説明

PVDF(ポリフッ化ビニリデン)は心拍測定など医療分野への応用が期待されている柔軟圧電材料である.本研究では,このPVDFを用いた各種センサ応用を検討し,MEMSプロセスと融合可能なP(VDF/TrFE)を用いたプロセスの確立を行った.また,柔軟基板上に柔軟な電極を作製し,この構造上にP(VDF/TrFE)を成膜し,心拍・呼吸センサの作製・評価を行った.

構造

心拍・呼吸センサの作製は,まず粗面加工したPDMSを表面に作製し,下部電極となるAu/Crを成膜する.Au/Crのパターニングを行い,P(VDF/TrFE)をスピンコート法により成膜する.次に,上部電極となるAlを成膜し,AlパターニングとP(VDF/TrFE)のパターニングを行う.それから電極の取り出し,PDMSで表面をコーティングする.最後に,PDMSで粘着層を作製する.

特性・性能・評価

人の左胸部に心拍・呼吸センサを装着し,出力してきた信号を100倍に増幅し,遮断周波数40Hzのローパスフィルタを通したときの心拍波形と呼吸波形の測定を行った.測定の結果,この心拍・呼吸センサはそれぞれの波形の取得に成功した.

文献情報,参考文献

塩野洋平,浜田浩幸,蒋永剛,樋口行平,神田健介,藤田孝之,前中一介“P(VDF/TrFE)薄膜を用いた柔軟な心拍・呼吸センサ,”センサ・マイクロマシン部門総合研究会,2011年6月30日,7月1日.

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