NiCrゲージ薄膜の抵抗温度係数低減によるカンチレバー型触覚センサの高分解能化

出典: BeansCM

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目次

項目の説明

人間の指先のように垂直圧力に加え剪断力も検知できる触覚機能を要するセンサシステムの提案をする. 触覚センサの出力ドリフトとノイズの低減を行い検知分解能の向上を図った.

構造

触覚センサの作製に用いたSOIウエハは,活性層が2.5um,埋込酸化膜層は1um,支持層が500umである. フッ化水素で表面の自然酸化膜を除去し,300nmの絶縁層を活性層上にスパッタリング法により成膜する. 次に,スパッタリング法を用いて応力検知層と配線層を成膜する.フォトリソグラフィによりパターンを形成し,応力制御層にはポリマー材料のサイトップを用いた.反応性イオンエッチングによるエッチングでカンチレバーを基板からリリースするための犠牲層を形成した.

特性・性能・評価

Cr含有率10~90wt%のNiCr焼結合金ターゲットを用いてそれぞれの抵抗温度係数を測定した. この結果から,最適なCr含有率は75wt%であることがわかり,この条件で触覚センサを作製することにより,出力ドラフトが9ppm/Kまで低減することが確認できた.触覚センサの高分解能化が可能になることを示した.

文献情報,参考文献

守口祐介,平嶋大樹,植松達也,寒川雅之,金島岳,奥山雅則,野間春生“NiCrゲージ薄膜の抵抗温度係数低減によるカンチレバー型触覚センサの高分解能化,”センサ・マイクロマシン部門総合研究会,2011年6月30日,7月1日.

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