MEMS等価回路モデル
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計算例
コンポーネント一覧
等価回路ジェネレーター
コンポーネント一覧
ここで、コンポーネントのモデル説明をします。
電気ー機械相互変換コンポーネント
2端子櫛歯
静電型平行平板
ユニモルフ圧電駆動梁
磁気駆動梁
バネコンポーネント
梁バネ
O型バネ
ダブルフォールデットバネ1
ダブルフォールデットバネ2
マスコンポーネント
剛体平板
剛体フレーム
アンカーコンポーネント
アンカー
音響コンポーネント
音響平行平板アクチュエータ
イナータンス
音響容量
音響抵抗