MEMS等価回路モデル
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使用方法
計算例
コンポーネント一覧
等価回路ジェネレーター
梁バネ
パラメータ種別
パラメータ名
記号
単位
形状パラメータ
長さ
L
m
幅
W
m
厚み
T
m
物性パラメータ
ヤング率
Young
Pa
密度
Density
kg/m
3
抵抗率
Resistivity
Ωcm
電気機械特性パラメータ
バネ定数
KspringX
N/m
バネ定数
KspringY
N/m
バネ定数
KspringZ
N/m
等価質量
MassX
kg
等価質量
MassY
kg
等価質量
MassZ
kg
長軸方向の抵抗
RL
Ω
