MEMS等価回路モデル
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使用方法
計算例
コンポーネント一覧
等価回路ジェネレーター
剛体フレーム
パラメータ種別
パラメータ名
記号
単位
形状パラメータ
長さ
Li
m
長さ
Lo
m
幅
Wi
m
幅
Wo
m
厚み
Thi
m
基板からの高さ
H
m
物性パラメータ
密度
Density
kg/m
3
電気機械特性パラメータ
質量
Mass
kg
機械抵抗
Rfx
Ns/m
機械抵抗
Rfy
Ns/m
機械抵抗
Rfz
Ns/m