| パラメータ種別 |
パラメータ名 |
記号 |
単位 |
| 形状パラメータ |
粱の幅 |
W |
m |
|
粱の長さ |
L |
m |
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第１層（圧電薄膜）の厚み |
Thi1 |
m |
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第２層（弾性体）の厚み |
Thi2 |
m |
| 物性パラメータ |
第１層のヤング率 |
Young1 |
Pa |
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第１層の密度 |
Density1 |
Pa・s |
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第１層の比誘電率 |
RelPerm1 |
kg/m3 |
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第１層の圧電定数d31 |
D31 |
C/N |
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第２層のヤング率 |
Young2 |
Pa |
|
第２層の密度 |
Density2 |
kg/m3 |
| 電気機械特性パラメータ |
撓み方向 |
Dir |
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第１層(圧電膜)のコンプライアンス |
S11 |
m2/N |
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第２層(弾性体)のコンプライアンス |
Sb |
m2/N |
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第１層(圧電膜)の誘電率 |
Perm1 |
F/m |
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粱の長さ |
Lb |
m |
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粱の幅 |
Wb |
m |
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粱の等価質量 |
Mass |
kg |
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機械抵抗 |
Rf |
Ns/m |
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