| パラメータ種別 |
パラメータ名 |
記号 |
単位 |
| カンチレバー部の形状パラメータ |
幅 |
Wcant |
m |
|
長さ |
Lcant |
m |
|
１層目の厚み |
ThiCant1 |
m |
|
２層目の厚み |
ThiCant2 |
m |
|
基板からの高さ |
Hcant |
m |
| コイル部の形状パラメータ |
縦の長さ |
Lcoil |
m |
|
横の長さ |
Wcoil |
m |
|
線幅 |
Wline |
m |
|
厚み |
ThiLine |
m |
|
配線位置 |
Yline |
m |
|
配線の長さ |
Lline1 |
m |
|
配線の長さ |
Lline2 |
m |
|
配線の長さ |
Lline3 |
m |
| 物性パラメータ |
１層目のヤング率 |
Young1 |
Pa |
|
１層目の密度 |
Density1 |
kg/m3 |
|
２層目のヤング率 |
Young2 |
Pa |
|
２層目の密度 |
Density2 |
kg/m3 |
| 電気パラメータ |
磁束密度 |
Bext |
T |
|
配線の抵抗率 |
Resistivity |
Ωcm |
| 電気機械特性パラメータ |
撓み方向 |
Dir |
|
|
バネ定数 |
Kspring |
N/m |
|
質量 |
Mass |
kg |
|
自己インダクタンス |
Lc |
H |
|
コイル部の電気抵抗 |
Rc |
Ω |
|
機械抵抗 |
Rf |
Ns/m |
|
