| パラメータ種別 |
パラメータ名 |
記号 |
単位 |
| 形状パラメータ |
平板1の厚み |
Thi1 |
m |
|
平板2の厚み |
Thi2 |
m |
|
平板の幅（平板1,2共通） |
W |
m |
|
平板の奥行き（平板1,2共通） |
L |
m |
|
平板間距離 |
Gap |
m |
| 物性パラメータ |
密度 |
Density |
kg/m3 |
| 電気パラメータ |
直流バイアス電圧 |
BiasVolt |
V |
| 電気機械特性パラメータ |
平行平板の移動方向 |
Dir |
|
|
平板1の質量 |
Mass1 |
kg |
|
平板2の質量 |
Mass2 |
kg |
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直流動作点での平板間容量 |
C0 |
F |
|
直流動作点での平板間容量の１階微係数 |
Cdu |
F/m |
|
直流動作点での平板間容量の２階微係数 |
Cdu2 |
F/m3 |
|
機械抵抗 |
Rf |
Ns/m |
|
浮遊容量 |
Cstray |
F |
|
