| パラメータ種別 |
パラメータ名 |
記号 |
単位 |
| 形状パラメータ |
櫛歯間のギャップ |
Gap1 |
m |
|
櫛歯間のギャップ |
Gap2 |
m |
|
初期重なり幅 |
X0 |
m |
|
櫛歯の長さ |
Lc |
m |
|
櫛歯の幅 |
Wc |
m |
|
櫛歯の厚み |
Thi1 |
m |
|
櫛歯の厚み |
Thi2 |
m |
|
土台の長さ |
Lm |
m |
|
土台の幅 |
Wm1 |
m |
|
土台の幅 |
Wm2 |
m |
|
繰り返し数 |
Num |
|
|
基板からの高さ |
Hm |
m |
| 物性パラメータ |
密度 |
Density |
kg/m3 |
| 電気パラメータ |
直流バイアス電圧 |
BiasVolt |
V |
| 電気機械特性パラメータ |
構造部１の質量 |
Mass1 |
kg |
|
構造部２の質量 |
Mass2 |
kg |
|
直流動作点のおける櫛歯間容量 |
C0 |
F |
|
直流動作点のおける櫛歯間容量の１次微係数値 |
Cdx |
F/m |
|
直流動作点のおける櫛歯間容量の１次微係数値 |
Cdy |
F/m |
|
直流動作点のおける櫛歯間容量の１次微係数値 |
Cdz |
F/m |
|
直流動作点のおける櫛歯間容量の２次微係数値 |
Cdx2 |
F/m2 |
|
直流動作点のおける櫛歯間容量の２次微係数値 |
Cdxdy |
F/m2 |
|
直流動作点のおける櫛歯間容量の２次微係数値 |
Cdxdz |
F/m2 |
|
直流動作点のおける櫛歯間容量の２次微係数値 |
Cdy2 |
F/m2 |
|
直流動作点のおける櫛歯間容量の２次微係数値 |
Cdydz |
F/m2 |
|
直流動作点のおける櫛歯間容量の２次微係数値 |
Cdz2 |
F/m2 |
|
構造部１の機械抵抗 |
Rfx1 |
Ns/m |
|
構造部１の機械抵抗 |
Rfy1 |
Ns/m |
|
構造部１の機械抵抗 |
Rfz1 |
Ns/m |
|
構造部２の機械抵抗 |
Rfx2 |
Ns/m |
|
構造部２の機械抵抗 |
Rfy2 |
Ns/m |
|
構造部２の機械抵抗 |
Rfz2 |
Ns/m |
|
浮遊容量 |
Cstray |
F |
|
