使用方法

等価回路モデルの作成、ネットリストの生成/ダウンロードの方法、および ダウンロードしたネットリストの利用方法を説明します。

等価回路導出手法

MEMS等価回路を導出する際の異なる物理系を統一的に扱うエネルギー関数によるモデル化手法と、 それを用いた等価回路の導出手法の概要をまとめました。本システムをご利用する前にご一読下さい。

電気機械パラメータの抽出手法

等価回路モデルのネットリスト生成に必要な電気・機械パラメータの抽出手法を説明します。

コンポーネント一覧

コンポーネントモデルの解説を行います。