圧力センサ 【解説】 上下2層、中空の圧力センサです。
形状パラメータの定義図 形状パラメータは、形状パラメータの定義図を参照して値を設定して下さい。
パラメータ名
記号
単位
ダイアフラム部厚み
ThiDiaphram
m
ダイアフラム部幅
WDiaphram
ダイアフラム部奥行き
LDiaphram
ダイアフラム部誘電体層厚み
ThiTopDiele
空洞部厚み
ThiCavity
下部電極部誘電体層厚み
ThiBottomDiele
ダイヤフラムヤング率
youngDiaphram
Pa
ダイヤフラムポアソン比
poissonDiaphram
-
ダイヤフラム密度
densityDiaphram
kg/m3
直流バイアス電圧
biasVolt
V
圧力
pressure
形状パラメータおよび抽出パラメータを設定後押下してください。 ただし、機械構造パラメータを直接設定する場合は、これらの値を設定する必要はありません。
等価回路解析モデル図 機械構造パラメータは、等価回路解析モデル図を参照して値を設定して下さい。
値
バネ定数
kSpringX
N/m
ダイアフラムの実効質量
ｍass
kg
直流動作点での平板間容量
C0
F
直流動作点での平板間距離
X0
ダイアフラムの面積
Area
m2
機械抵抗
Rf
Ns/m
浮遊容量
Cstray
(*1) 左右4本の梁をバネ1本で表したときのバネ定数
ネットリストを生成後、ダウンロードできます。機械構造パラメータを設定してから押下してください。
