ナノ振動子（Oscillator） 【解説】 両端を固定されたSiナノワイヤであり、ｘ方向およびｚ方向に振動します。
形状パラメータの定義図 形状パラメータは、形状パラメータの定義図を参照して値を設定して下さい。
パラメータ名
記号
単位
振動子の長さ
Lr
m
振動子の幅
Wr
振動子の厚み
ThiR
振動子の側面角
Angle
degree
振動子の振動子‐電極間距離
Gap
アンカーの横の長さ
Wa
アンカーの縦の長さ
La
電極の横の長さ
We
電極の縦の長さ
Le
ヤング率
young
Pa
密度
density
kg/m3
直流バイアス電圧
biasVolt
V
形状パラメータおよび抽出パラメータを設定後押下してください。 ただし、機械構造パラメータを直接設定する場合は、これらの値を設定する必要はありません。
等価回路解析モデル図 機械構造パラメータは、等価回路解析モデル図を参照して値を設定して下さい。
値
実効質量
ｍassX
kg
ｍassZ
バネ定数(*1)
kSpringX
N/m
kSpringZ
基板ー電極間の容量
Cin
F
Cout
基板-振動子間の容量
Cres
振動子接続電極の浮遊容量
Cstray
直流動作点における振動子のたわみ
Z0
直流動作点における振動子-電極間の容量
C1
C2
直流動作点における振動子-電極容量の1階微分値
C1dx
F/m
C2dx
C1dz
C2dz
C1dx2
F/m2
C2dx2
C1dz2
C2dz2
C1dxdz
C2dxdz
機械抵抗
Rfx
Ns/m
Rfz
(*1) 左右4本の梁をバネ1本で表したときのバネ定数
ネットリストを生成後、ダウンロードできます。機械構造パラメータを設定してから押下してください。
