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電磁気駆動型片持ち梁（Magnet）
【解説】
駆動源は電磁気力です。
デバイス構造 等価回路解析モデル
構造タイプ 片持ち梁
駆動源 電磁気
出典 東京大学下山研究室

形状パラメータの定義図
形状パラメータは、形状パラメータの定義図を参照して値を設定して下さい。

形状パラメータ

パラメータ名

記号

値
接頭

単位

カンチレバー部

幅

Wcant

m

長さ

Lcant

m

SiO2層の厚み

Thi1

m

Si層の厚み

Thi2

m
コイル部

縦の長さ

Lcoil

m

横の長さ

Wcoil

m

線幅

Wline

m

厚み

ThiLine

m

配線位置

Yline

m

 

配線位置

 

Lline1

m

Lline2

m

Lline3

m
抽出用パラメータ
1層目（SiO2層）

ヤング率

young1

Pa

ポアソン比

poisson1

－

密度

density1

kg/m3
2層目（Si層）

ヤング率

young2

Pa

ポアソン比

poisson2

－

密度

density2

kg/m3
電気パラメータ

バイアス電流

Icoil

A
磁束密度 Bext T

配線の体積抵抗率

Res

Ωm

形状パラメータおよび抽出パラメータを設定後押下してください。
ただし、機械構造パラメータを直接設定する場合は、これらの値を設定する必要はありません。

 

等価回路解析モデル図
機械構造パラメータは、等価回路解析モデル図を参照して値を設定して下さい。

機械構造パラメータ

パラメータ名

記号

値

接頭

単位

バイアス電流

biasCurr

A

バネ定数(*1)

kSpringX

N/m

質量

ｍass

kg

直流動作点におけるたわみ

Xc

m

自己インダクタンス

Lc

H

コイル部の電気抵抗

Rc

Ω

コイルの横の長さ

Wcoil

m

磁束密度

Bext

T

機械抵抗

Rf

Ns/m

ネットリストを生成後、ダウンロードできます。機械構造パラメータを設定してから押下してください。