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２電極櫛歯角速度センサ（２Lxｙ）
【解説】
x軸方向に振動している内側のフレーム内の櫛歯に対して、z軸周りの角速度が加わると、コリオリ力が働き外側のフレームがy軸方向に変位する。この変位は、両側に設けられた櫛歯群によって電気的に読み出されます。デバイスは駆動櫛歯部を除いて点対称です。
デバイス構造
 
等価回路解析モデル
櫛歯角速度センサ   ジャイロ解析モデル図
構造タイプ ２電極櫛歯角速度センサ
検出原理 静電容量型
出典 香川大学橋口研究室

形状パラメータの定義図
形状パラメータは、形状パラメータの定義図を参照して値を設定して下さい。

形状パラメータ
 

パラメータ名

記号

値
接頭

単位

振動櫛歯部

櫛歯間のギャップ

GapOc

m

初期重なり幅

X0Oc

m

櫛歯の長さ

Loc

m

櫛歯の幅

Woc

m

繰り返し数

NumOc

－

検出用櫛歯部

 

 

櫛歯間のギャップ1

GapDc1

m

櫛歯間のギャップ2

GapDc2

m

初期重なり幅

X0Dc

m

櫛歯の長さ

Ldc

m

櫛歯の幅

Wdc

m

繰り返し数

NumDc

－

内側バネ部

梁の長さ

Lib

m

梁の幅

Wib

m

外側バネ部

梁の長さ

Lob

m

梁の幅

Wob

m

内側フレーム部

表面積

AreaIf

m2

内側バネ部接続の梁の幅

Wsib

m

外側フレーム部

表面積

AreaOf

m2

外側バネ部接続の梁の幅

Wsob

m

各部共通

構造厚み

Thi

m
抽出用パラメータ

物性パラメータ

ヤング率

young

Pa

密度

density

kg/m3

電気パラメータ

右側電極-櫛歯間電圧

biasVolt1

V

左側電極-櫛歯間電圧

biasVolt2

V

駆動電圧の振幅

acVoltMag

V

駆動電圧の周波数

acVoltFreq

Hz

力学パラメータ

角速度

angVelocity

degree/sec

形状パラメータおよび抽出パラメータを設定後押下してください。
ただし、機械構造パラメータを直接設定する場合は、これらの値を設定する必要はありません。

 

等価回路解析モデル図
機械構造パラメータは、等価回路解析モデル図を参照して値を設定して下さい。

機械構造パラメータ

パラメータ名

記号

値

接頭

単位

角速度

angVelocity

rad/sec*

駆動電圧の振幅

acVoltMag

V

駆動電圧の角周波数

acVoltFreq

rad/sec*

駆動櫛歯静的容量

Cac

F

駆動櫛歯の重なり長さ

Xac

m

検出櫛歯1静的容量

C1

F

検出櫛歯1ギャップ

gap1

m

検出櫛歯1バイアス

biasVolt1

V

検出櫛歯2静的容量

C2

F

検出櫛歯2ギャップ

gap2

m

検出櫛歯2バイアス

biasVolt2

V

質量

massX

kg

massY

kg

バネ定数

kSpringX

N/m

kSpringY

N/m

機械抵抗

 Rfx Ns/m

Rfy

Ns/m

(*) ラジアン単位に注意

ネットリストを生成後、ダウンロードできます。機械構造パラメータを設定してから押下してください。