カンチレバー 【解説】 CNTカンチレバーです。
形状パラメータの定義図 形状パラメータは、形状パラメータの定義図を参照して値を設定して下さい。
パラメータ名
記号
単位
カンチレバー部長さ
L
m
カンチレバー部幅
W
カンチレバー部厚み
Thi
カンチレバー部基板からの高さ
H
カンチレバー部ヤング率
young
Pa
カンチレバー部密度
density
kg/m3
直流バイアス電圧
biasVolt
V
形状パラメータおよび抽出パラメータを設定後押下してください。 ただし、機械構造パラメータを直接設定する場合は、これらの値を設定する必要はありません。
等価回路解析モデル図 機械構造パラメータは、等価回路解析モデル図を参照して値を設定して下さい。
値
バネ定数
kSpringX
N/m
実効質量
ｍass
kg
直流動作点でのカンチレバーと基板間容量
C0
F
直流動作点でのカンチレバーと基板間容量 １階微分係数
C0dx
F/m
直流動作点でのカンチレバーと基板間容量 ２階微分係数
C0dx2
F/m2
機械抵抗
Rf
Ns/m
浮遊容量
Cstray
(*1) 左右4本の梁をバネ1本で表したときのバネ定数
ネットリストを生成後、ダウンロードできます。機械構造パラメータを設定してから押下してください。
