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ピエゾ抵抗型加速度センサ(Accel)
【解説】
ピエゾ抵抗型の3軸加速度センサです。

デバイス構造 等価回路解析モデル
構造タイプ 梁構造
検出原理 ピエゾ抵抗型

形状パラメータの定義図
形状パラメータは、形状パラメータの定義図を参照して値を設定して下さい。

形状パラメータ

パラメータ名

記号

接頭

単位

ピエゾ抵抗部

長さ

Lpi

m

Wpi

m

厚み

Thipi

m

検出梁部

長さ

Lb

m

Wb

m

厚み

Thib

m

支持部の幅

Ws

m

錘部

縦の長さ

Lm

m

横の長さ

Wm

m

厚み

Thim

m

ギャップ幅

Gap

m

座標軸 主軸となす角

Phi

degree

抽出用パラメータ
ピエゾ抵抗部

ピエゾ抵抗係数 π11

pi_11

Pa-1

ピエゾ抵抗係数 π12

pi_12

Pa-1

ピエゾ抵抗係数 π44

pi_44

Pa-1

比抵抗

resistivity

Ωcm

錘部

密度

density

kg/m3

加速度

x方向

Ax

G

y方向 Ay G

z方向

Az

G

形状パラメータおよび抽出パラメータを設定後押下してください。
ただし、
機械構造パラメータを直接設定する場合は、これらの値を設定する必要はありません。

 

等価回路解析モデル図
機械構造パラメータは、等価回路解析モデル図を参照して値を設定して下さい。

機械構造パラメータ

パラメータ名

記号

接頭

単位

X方向加速度の検出ブリッジ回路の抵抗

Rx1

Ω

Rx2

Ω

Rx3

Ω

Rx4

Ω

y方向加速度の検出ブリッジ回路の抵抗

Ry1

Ω

Ry2

Ω

Ry3

Ω

Ry4

Ω

z方向加速度の検出ブリッジ回路の抵抗

Rz1

Ω

Rz2

Ω

Rz3

Ω

Rz4

Ω

ネットリストを生成後、ダウンロードできます。機械構造パラメータを設定してから押下してください。