３電極ｘ軸駆動型の櫛歯アクチュエータ（ダブルホールドビーム；２Lx） 【解説】 ダブルホールドビーム構造の1軸（x軸）方向に駆動する櫛歯型のアクチュエータです。 駆動源は静電力です。
形状パラメータの定義図 形状パラメータは、形状パラメータの定義図を参照して値を設定して下さい。
パラメータ名
記号
単位
櫛歯間のギャップ
Gap
m
初期重なり幅
X0
櫛歯の長さ
Lc
櫛歯の幅
Wc
櫛歯の土台の幅
Wm
繰り返し数
Num
－
梁の長さ
Lb1
Lb2
Lb3
Lb4
Lb5
梁の幅
Wb1
Wb2
構造の厚み
Thi
可動部接続電極横の長さ
Lme
Wme
基板部と電極の重なり幅
Wov
縦の長さ
Wf
横の長さ
Lf
ヤング率
young
Pa
密度
density
kg/m3
直流バイアス電圧
biasVolt
V
形状パラメータおよび抽出パラメータを設定後押下してください。 ただし、機械構造パラメータを直接設定する場合は、これらの値を設定する必要はありません。
等価回路解析モデル図 機械構造パラメータは、等価回路解析モデル図を参照して値を設定して下さい。
値
櫛歯可動部の質量
ｍass
kg
バネ定数(*1)
kSpringX
N/m
基板‐電極間の容量
Cin
F
Cout
基板-可動部間の容量
Cres
可動部接続電極の浮遊容量
Cstray
直流動作点における櫛歯間容量
C1
C2
直流動作点における櫛歯間容量の1次微係数値
C1dx
F/m
C2dx
直流動作点における櫛歯間容量の2次微係数値
C1dx2
F/m2
C2dx2
機械抵抗
Rf
Ns/m
(*1) 左右4本の梁をバネ1本で表したときのバネ定数
ネットリストを生成後、ダウンロードできます。機械構造パラメータを設定してから押下してください。
