２電極ｘ軸駆動型の櫛歯アクチュエータ（ダブルホールドビーム：２LxD） 【解説】 ダブルホールドビーム構造の1軸（x軸）方向に駆動する櫛歯型のアクチュエータです。 駆動源は静電力です。
形状パラメータの定義図 形状パラメータは、形状パラメータの定義図を参照して値を設定して下さい。
パラメータ名
記号
単位
櫛歯間のギャップ
Gap
m
初期重なり幅
X0
櫛歯の長さ
Lc
櫛歯の幅
Wc
櫛歯の土台の幅
Wm
繰り返し数
Num
－
梁の長さ
Lb1
Lb2
Lb3
Lb4
Lb5
梁の幅
Wb1
Wb2
構造の厚み
Thi
可動部接続電極の横の長さ
Lme
可動部接続電極の縦の長さ
Wme
基板部と電極の重なり幅
Wov
縦の長さ
Wf
横の長さ
Lf
ヤング率
young
Pa
ポアソン比
poisson
密度
density
kg/m3
直流バイアス電圧
biasVolt
V
形状パラメータおよび抽出パラメータを設定後押下してください。 ただし、機械構造パラメータを直接設定する場合は、これらの値を設定する必要はありません。
等価回路解析モデル図 機械構造パラメータは、等価回路解析モデル図を参照して値を設定して下さい。
値
バネ定数(*1)
kSpringX
N/m
櫛歯可動部の質量
ｍass
kg
直流動作点におけるオーバーラップ容量
Cb
F
直流動作点における櫛歯重なり幅
Xb
直流動作点における櫛歯先端容量
Ctip
直流動作点におけるフリンジ容量
Cfringe
浮遊容量
Cstray
機械抵抗
Rf
Ns/m
(*1) 左右4本の梁をバネ1本で表したときのバネ定数
ネットリストを生成後、ダウンロードできます。機械構造パラメータを設定してから押下してください。
